|
|
|
|
|
|
|
Ã¥³»¿ë |
|
¡à 2024³â DRAM ¼ö¿ä´Â 19% Áõ°¡ÇÑ 293¾ï GB·Î ¿¹»óµÇ´Â ¹Ý¸é »ý»êÀº Àü³âºñ 16% ´Ã¾î³ 288¾ï GB¿¡ ±×Ä¥ Àü¸ÁÀÌ´Ù. Ĩ ¾÷üµéÀÇ ÃâÇÏ·®Àº »ý»ê·®º¸´Ù ¸¹Àº 312¾ï GB·Î 18% Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù.
¡à WSTS¿¡ µû¸£¸é DRAM ½ÃÀå±Ô¸ð´Â ¡®23³â 1ºÐ±â 100¾ï ´Þ·¯¸¦ ÀúÁ¡À¸·Î °è¼Ó Áõ°¡ÇØ ¡®24³â 4ºÐ±â¿¡´Â 238¾ï ´Þ·¯±îÁö ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù. ¿¬°£À¸·Î´Â ¡®23³â 509¾ï ´Þ·¯¿¡¼ ¡®24³â 813¾ï ´Þ·¯·Î ¾à 60% Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÑ´Ù.
¡à 2023³â NAND ½ÃÀåÀº ¼ö¿ä 8% Áõ°¡, »ý»ê 10% °¨¼Ò, ÃâÇÏ 13% Áõ°¡¸¦ ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù. ¹Ý¸é, 2024³â ¼ö¿ä´Â 22% Áõ°¡ÇÑ 7,410¾ï GB, »ý»êÀº 21% Áõ°¡ÇÑ 7,360¾ï GB, ÃâÇÏ´Â 18% Áõ°¡ÇÑ 7,810¾ï GB¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î ¸ðµ¨¸µ µÈ´Ù.
¡à ÀÌ¿¡ µû¶ó, NAND ¾÷üµéÀÇ Ä¨ Àç°í´Â ¡®22³â ¸» 1,420¾ï GB¿¡¼ ¡®23³â 1ºÐ±â Áß 1,570¾ï GB±îÁö Áõ°¡ÇÑ ÈÄ, ¿¬¸»¿¡´Â 890¾ï GB±îÁö °¨¼ÒÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ºÐ±â ±âÁØ NAND ½ÃÀå ±Ô¸ð(Ĩ ±âÁØ)´Â 1 ºÐ±â¸¦ ÀúÁ¡À¸·Î ´Ù¼Ò ºÒ±ÔÄ¢ÇÑ ¸ð¾çÀ» ±×¸®¸ç Á¡Â÷ ȸº¹ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¡à ÇÑÆí GartnerÀÇ Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¼¼°è ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀåÀº 2021³â 2,558¾ï ´Þ·¯¿¡¼ 2027³â 3,332¾ï 1,000¸¸ ´Þ·¯·Î ¿¬Æò±Õ 4.5%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¿¹ÃøµÈ´Ù.
¡á ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼´Â ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ¾à 60~70%¸¦ Â÷ÁöÇÏ´Â °Å´ë ½ÃÀåÀ¸·Î ÃÊ¿¬°á£¿ÃÊÁö´É ±â¼úÀÇ Àü»ê¾÷ È®»ê¿¡ µû¶ó ²ÙÁØÇÑ ¼ºÀåÀÌ Àü¸ÁµÊ
¡á ±âÁ¸ »ê¾÷¿¡ ´ëÇÑ ICT Á¢¸ñ¿¡ µû¸¥ µðÁöÅÐ Àüȯ¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä´Â ´Ùº¯ÈÇÏ´Â Ãß¼¼·Î, ÃÊ¿¬°á£¿ÃÊÁö´É ±â¼úÈ®»ê¿¡ µû¸¥ ¼ö¿ä Áõ°¡·Î ½´ÆÛ»çÀÌŬÀÌ Àü¸ÁµÊ(ÀΰøÁö´É£¿ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷£¿¸ÞŸ¹ö½º£¿5G/6G£¿Å¬¶ó¿ìµå£¿º¸¾È µî)
¡à ±¹³» ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀåÀº 2021³â 10Á¶ 6,400¾ï ¿ø¿¡¼ 2027³â 13Á¶ 8,700¾ï ¿øÀ¸·Î ¿¬Æò±Õ 4.5%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù.
¡á ¿ì¸®³ª¶óÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼°è ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº 21%(`19³â) ¼öÁØÀ̳ª, ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷ ¼¼°è ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº ¾à 3.2%¿¡ ºÒ°úÇÏ¿© 10¿© ³â°£ Á¤Ã¼µÈ »óÅÂ.
£¿ °í¼º´ÉÀÇ ¼ÒÇü ÀüÀÚÁ¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä ±ÞÁõ°ú ÃÖ±Ù ½Å±Ô ÆÕ °Ç¼³ÀÇ Áõ°¡·Î ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â Áö¼ÓÀûÀÎ ¼ºÀåÀÌ Àü¸ÁµÇ¾î ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼Àåºñ ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀ嵿·ÂÀº ÃæºÐÇÑ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¡á vision research reports¿¡ ÃÖ±Ù º¸°í¼¿¡ µû¸£¸é ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â `22³â ¾à 967¾ï ´Þ·¯¿¡¼ `32³â¿¡´Â ¾à 2,041¾ï 7õ¸¸ ´Þ·¯¿¡ ´ÞÇØ ¿¬Æò±Õ ¼ºÀå·ü(CAGR) 7.76%·Î ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»ó.
- °Å½Ã°æÁ¦ ¿ªÇ³°ú ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ºÒȲ¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í AI, Â÷·®¿ë ¹ÝµµÃ¼ µî¿¡ ÅõÀÚ°¡ È°¹ßÇØ °ÇÀüÇÑ °æÁ¦ »óȲÀ» À¯Áö.
- `22³â Àü°øÁ¤ Àåºñ ½ÃÀåÀÌ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ¸ÅÃâ Á¡À¯À²ÀÇ 73.35%¸¦ Â÷ÁöÇÏ¿´°í ÇâÈÄ¿¡µµ CAGR 8.02%·Î ºü¸¥ ¼ºÀåÀ¸·Î ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ¸ç ÈÄ°øÁ¤ Àåºñ ½ÃÀåÀº CAGR 6.93%·Î ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸Á.
£¿ KISTI ÃÖ±Ù º¸°í¼¿¡ µû¸£¸é ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº 5G¡¤ÀÚÀ²ÁÖÇࡤ»ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT)¡¤ÀΰøÁö´É(AI) ¹ß´Þ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä È®»êÀ¸·Î ¼ºÀå¼¼°¡ Áö¼ÓµÇ°í ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ðµµ ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¡á ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ½ÃÀåÀº `21³â ¾à 123¾ï ´Þ·¯¿¡¼ `27³â±îÁö ¿¬Æò±Õ ¾à10.5%ÀÇ ¼ºÀå·ü·Î Áõ°¡ÇÏ¿©, `27³â¿¡´Â 225¾ï ´Þ·¯¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î Àü¸Á.
¡á Àü°øÁ¤ Àåºñ ºÐ¾ß°¡ ¹ÝµµÃ¼ Àüü Àåºñ ½ÃÀåÀÇ 80% ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â »óȲ¿¡¼ ÈÄ°øÁ¤ Àåºñ ºÐ¾ß°¡ ±Þ°ÝÇÑ ¼ºÀåÀ¸·Î ÇâÈÄ °ÝÂ÷°¡ °¨¼ÒÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»ó.
£¿ Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ ÀÇÇϸé 2021³â 9¾ï 8,000¸¸ ´Þ·¯¿´´ø ¼¼°è Àü·Â¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå±Ô¸ð´Â 2027³â 65¾ï 7,500¸¸ ´Þ·¯·Î Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.
£¿ StatistaÀÇ ÃÖ±Ù º¸°í¼¿¡ ÀÇÇϸé 2021³â 741¾ï 1,000¸¸ ´Þ·¯¿´´ø ¼¼°è ¾Æ³¯·Î±× ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ±Ô¸ð°¡ 2027³â 1,016¾ï 6,000¸¸ ´Þ·¯·Î Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¡à MarketsAndMarkets¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¹ÝµµÃ¼¼³°è IP ¼¼°è ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 2021³â 50¾ï ´Þ·¯¿¡¼ ¿¬Æò±Õ ¼ºÀå·ü 7%¸¦ º¸À̸ç 2027³â 76¾ï 3,000¸¸ ´Þ·¯·Î ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇÏ¿´´Ù. |
|
¸ñÂ÷ |
|
¥¶. ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ÇÙ½É ºÐ¾ß ½ÃÀåºÐ¼®
1. ¹ÝµµÃ¼ ÷´Ü ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ¹× ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
°¡. °³È²
³ª. ±¹³»¿Ü °ü·Ã ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á
¨ç ¼¼°è ½ÃÀå
¨è ±¹³» ½ÃÀå
(2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
°¡. °³È²
³ª. ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ
¨ç ÇØ¿Ü ±â¾÷
¨è ±¹³» ±â¾÷
¨é ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ±â°ü
2) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) Çٽɱâ¼ú ¼±Á¤
(2) Çٽɱâ¼ú Á¤ÀÇ
°¡. TSV ÀÎÅÍÆ÷Àú È°¿ë 3Â÷¿ø ÀûÃþ ±â¼ú
³ª. °íÁ¤¹Ð ´ÙÃþ Á¢ÇÕ ±â¼ú
´Ù. °íÁýÀû Àç¹è¼± ±â¼ú
(3) ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Á¾ÇÕ°èȹ¾È
°¡. ±â¼ú°³¹ß ¸ñÇ¥
³ª. ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Àü·«
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÷´Ü ÆÐŰ¡ Àåºñ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
2. ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢ ¹× ÁõÂø Àåºñ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ¹× ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
°¡. °³È²
³ª. °ü·Ã ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á
¨ç ¼¼°è ½ÃÀå
¨è ±¹³» ½ÃÀå
(2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
°¡. °³È²
³ª. ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ
¨ç ÇØ¿Ü ±â¾÷
¨è ±¹³» ±â¾÷
¨é ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ±â°ü
2) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
°¡. ¿øÀÚÃþ¹Ú¸· ÁõÂø ±â¼ú
³ª. ¿¡ÇÇÅýà ¼ºÀå ±â¼ú
´Ù. Ãʹڸ· ½Ä°¢±â¼ú
¶ó. Ãʹ̼¼ ³ª³ë °øÁ¤¿ë Àåºñ Á¦Á¶ ±â¼ú
(3) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß ¸ñÇ¥
(4) ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Á¾ÇÕ°èȹ¾È
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢ ¹× ÁõÂø Àåºñ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
3. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ¹× ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
°¡. °³È²
³ª. ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á
¨ç ¼¼°è ½ÃÀå
¨è ±¹³» ½ÃÀå
(2) ±¹³» ±â¼ú ºÐ¼®
°¡. °³È²
³ª. ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ
¨ç ÇØ¿Ü ±â¾÷
¨è ±¹³» ±â¾÷
¨é ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ±â°ü
2) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³» Çٽɱâ¼ú ¼±Á¤
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú ¼¼ºÎ ³»¿ë
°¡. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ¿ë À̿¼ҽº ºÎÇ°Á¦Á¶
³ª. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ¿ë ESC ºÎÇ°Á¦Á¶ ±â¼ú
´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ¿ë ÀÌ¿Â Áú·® ÇÊÅÍ ±â¼ú
(3) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß ¸ñÇ¥
(4) ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Á¾ÇÕ°èȹ¾È
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
4. ¹èÃâÁ¦¾î ¹× ȯ°æÃøÁ¤ Àåºñ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ¹× ±â¼ú ºÐ¼®
(1) °³È²
(2) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á
°¡. ¼¼°è ½ÃÀå
³ª. ±¹³» ½ÃÀå
(3) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
°¡. °³È²
³ª. ±¹³»¿Ü ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ
¨ç ÇØ¿Ü ±â¾÷
¨è ±¹³» ±â¾÷
¨é ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ±â°ü
2) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú ¼¼ºÎ³»¿ë
°¡. NOx Á¦°Å ±â¼ú
³ª. AI ±â¹Ý ½ºÅ©·¯¹ö ģȯ°æ ¿î¿ë ±â¼ú
´Ù. ¿Â½Ç°¡½º ¹èÃâ Á¤·® ÅëÇÕ ¸ð´ÏÅ͸µ ºÐ¼® ±â¼ú
¶ó. ´ÙÁ¾ °øÁ¤¡¤ºÎ»ý°¡½º ¸ð´ÏÅ͸µ ±â¼ú
(3) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß ¸ñÇ¥
(4) ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Á¾ÇÕ°èȹ¾È
[º°Ã·] '¹èÃâÁ¦¾î ¹× ȯ°æÃøÁ¤ Àåºñ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷º° ºÐ·ù
5. ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú°³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú °³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
6. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
¥·. ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ÁÖ¿ä ¼Ò¤ýºÎ¤ýÀå ½ÃÀåºÐ¼®
1. EUV ºí·©Å© ¸¶½ºÅ© ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
°¡. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú °³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] 'EUV ºí·©Å© ¸¶½ºÅ©'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) °³¿ä
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
2. ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ - Mask Writer ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ
³ª. ¼¼°è ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á
´Ù. ±¹³» ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á
¶ó. ¼öÃâÀÔ µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. ±¹³» Lithography ÀåÄ¡ ±â¾÷ÇöȲ
³ª. ¼¼°è Lithography ÀåÄ¡ ±â¾÷ÇöȲ
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
(3) ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß µ¿Çâ
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú °³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '¸®¼Ò±×·¡ÇÇ - Mask Writer'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷º° ºÐ·ù
3. ¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
°¡. »õ·Î¿î Àç·áÀÇ µîÀå¿¡ µû¸¥ ±â¼ú º¯È
³ª. ·¹ÀÌ¾î ·¹À̾ƿô ¹æÇâÀÇ º¯°æ
´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ¹Ì¼¼È ¹× ´ÙÃþÈ
¶ó. 3D NAND ±â¼ú¿¡ µû¸¥ CMP °øÁ¤ È®´ë
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
°¡. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú °³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
4. ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
°¡. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷ÀÇ Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
5. Åͺ¸½ÄÆßÇÁ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] 'Åͺ¸½ÄÆßÇÁ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
6. ¹ÝµµÃ¼¿ë È÷ÅÍ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼¿ë È÷ÅÍ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
7. Áø°øÆßÇÁ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
°¡. °Ç½ÄÆßÇÁÀÇ ¼ö¿ä Áõ°¡, ±×·Î ÀÎÇÑ ±â¼ú ¿ä±¸
³ª. ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Áø°øÆßÇÁ °íÀå ÇØ°á ±â¼ú
´Ù. ÇØ¿Ü¿¡ ºñÇØ ¿¾ÇÇÑ ±â¼ú
(2) ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß µ¿Çâ
°¡. ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] 'Áø°øÆßÇÁ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷ÀÇ Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
8. MFC(Mass Flow Controller) ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] 'MFC(Mass Flow Controller)'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) °³¿ä
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
9. CVD(Chemical Vapor Deposition) ÀåÄ¡ ºÎÇ° ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] 'CVD(Chemical Vapor Deposition) ÀåÄ¡ ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷º° ºÐ·ù
10. ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º·ù[11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe] ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ
³ª. ¼¼°è ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
´Ù. ±¹³» ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ±â¾÷ÇöȲ
³ª. ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ±â¾÷ÇöȲ
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] ' ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º·ù[11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe]'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) ±¹³» ±â¼ú ¼öÁØ
11. TDMAS ¼ÒÀç ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ
³ª. ¼¼°è ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
´Ù. ±¹³» ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. ±¹³» TDMAS ±â¾÷ÇöȲ
³ª. ¼¼°è TDMAS ±â¾÷ÇöȲ
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] 'TDMAS ¼ÒÀç'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) °³¿ä
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
(5) ±¹³» ±â¼ú ¼öÁØ
12. ÃÊ°í¼øµµ ºÒȼö¼Ò ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü ±â¼ú µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] 'ÃÊ°í¼øµµ ºÒȼö¼Ò'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
15. ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) °³¿ä
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
14. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ µ¿Çâ
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
15. Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) ¼¼Á¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ
³ª. ¼¼°è ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á
´Ù. ±¹³» ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á
¶ó. ¼öÃâÀÔ µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ±â¾÷ÇöȲ
³ª. ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ±â¾÷ÇöȲ
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
°¡. ÃÖ±Ù ±¹»êÈ ¼º°ø »ç·Ê
³ª. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
(1) Çؿܾ÷ü
(2) ±¹³»¾÷ü
5) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] 'Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) ¼¼Á¤ÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
(5) ±¹³» ±â¼ú¼öÁØ
16. ¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
17. 2Â÷¿ø, 3Â÷¿ø ÃøÁ¤±â ºÐ·ù
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] '2Â÷¿ø, 3Â÷¿ø ÃøÁ¤±â'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
18. Bare Wafer Æòźµµ °Ë»çÀåÄ¡ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] 'Bare Wafer Æòźµµ °Ë»çÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
19. ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ
³ª. ¼¼°è ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á
´Ù. ±¹³» ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á
¶ó. ¼öÃâÀÔ µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ±â¾÷ÇöȲ
³ª. ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ±â¾÷ÇöȲ
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
°¡. ±¹³» ÁÖ¿ä ´ë±â¾÷¿¡¼´Â ¸Þ¸ð¸®Å×½ºÅÍ ÀåÄ¡¸¦ °³¹ß ¹× Àû¿ë
³ª. ¿þÀÌÆÛ Å©±âÀÇ ´ëÇüÈ ¹× ȸ·Î¼±Æø Å©±âÀÇ ¹Ì¼¼È·Î ÁÖ°Ë»çÀåÄ¡¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä ±ÞÁõ
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
°¡. ÃÖ±Ù ±¹»êÈ ¼º°ø »ç·Ê
³ª. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê(NTIS)
´Ù. ÇÐÀ§ ³í¹® (RISS)
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹è·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
(5) ±¹³» ±â¼ú¼öÁØ
20. Àü·Â(ÆÄ¿ö)¹ÝµµÃ¼(Power IC) ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú°³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] 'Àü·Â(ÆÄ¿ö)¹ÝµµÃ¼(Power IC)'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) °³¿ä
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
21. ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ IC ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú°³¹ß À̽´
(2) °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ IC'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) °³¿ä
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
22. ·çÅ×´½(Ru) ¹Ú¸·ÀÇ ALD Àü±¸Ã¼ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ
³ª. ¼¼°è½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
´Ù. ±¹³» ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. ±¹³» ¿øÀÚÃþ ÁõÂø ±â¾÷ÇöȲ
³ª. ¼¼°è ¿øÀÚÃþ ÁõÂø ±â¾÷ÇöȲ
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '·çÅ×´½(Ru) ¹Ú¸·ÀÇ ALD Àü±¸Ã¼'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ ±¸Á¶ ¹× ºÐ·ù
°¡. Ru ALD Àü±¸Ã¼ÀÇ Àû¿ë¹üÀ§
³ª. Ru ALD Àü±¸Ã¼ÀÇ ºÐ·ù
23. °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀç ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ
³ª. ¼¼°è ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á
´Ù. ±¹³» ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á
(3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. ±¹³» ¹æ¿¼ÒÀç ±â¾÷ÇöȲ
³ª. ¼¼°è ¹æ¿¼ÒÀç ±â¾÷ÇöȲ
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
(3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü
[º°Ã·] '°íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀç'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ ±¸Á¶ ¹× ºÐ·ù
°¡. °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀç ºÐ¾ßÀÇ ¹ë·ùüÀÎ
³ª. °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀçÀÇ ±¸¼º ¹× ºÐ·ù
(4) ±¹³» ±â¼ú¼öÁØ
24. ½Ä°¢ÀåÄ¡¿ë ÄÁÆ®·Ñ·¯ ¹× ¼¾¼ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] '½Ä°¢ÀåÄ¡¿ë ÄÁÆ®·Ñ·¯ ¹× ¼¾¼'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ
(3) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
25. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿ÂÁÖÀԱ⠺оß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ±â'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ ±¸Á¶
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
26. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û ¹Ý¼Û ¸ðµâ ¹× ÀåÄ¡ ºÐ¾ß
1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼®
(1) »ê¾÷ ºÐ¼®
(2) ½ÃÀå ºÐ¼®
°¡. ¼¼°è½ÃÀå
³ª. ±¹³»½ÃÀå
2) ±¹³»¿Í ±â¼ú ºÐ¼®
(1) ±â¼ú °³¹ß À̽´
(2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ
(3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ
°¡. Çؿܾ÷ü
³ª. ±¹³»¾÷ü
3) ±Û·Î¹ú ¼ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼®
(1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ
(2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ
(3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺
(4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ©
(5) ¼öÃâ »ê¾÷È
(6) °æÀï·Â ÇöȲ
4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·«
(2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú
[º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û ¹Ý¼Û ¸ðµâ ¹× ÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ
(1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀǹÌ
(2) »ê¾÷Àû Á߿伺
(3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ ±¸Á¶
(4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù
¥¸. 2024³âµµ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß Á¤ºÎ ½Å±ÔÁö¿ø ¿¬±¸°³¹ß Á¦¾È¿äû¼(RFP)
¨ç ÈÇÕ¹°Àü·Â¹ÝµµÃ¼°íµµÈ±â¼ú°³¹ß (»ó¿ëȼÒÀÚ ¹× ¸ðµâ)
¨è ÈÇÕ¹°Àü·Â¹ÝµµÃ¼°íµµÈ±â¼ú°³¹ß (¼ÒÀç)
¨é ÈÇÕ¹°Àü·Â¹ÝµµÃ¼°íµµÈ±â¼ú°³¹ß (ÆÄ¿öIC)
¨ê ½ÃÀå¼±µµ¸¦À§ÇÑÇѱ¹ÁÖµµÇüK-Sensor±â¼ú°³¹ß»ç¾÷ (½ÃÀåÁÖµµÇüK-¼¾¼±â¼ú°³¹ß)
¨ë Â÷¼¼´ëÁö´ÉÇü¹ÝµµÃ¼±â¼ú°³¹ß(¼³°è,Á¦Á¶) (½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼»ó¿ëȼ³°è)
¨ì Â÷¼¼´ëÁö´ÉÇü¹ÝµµÃ¼±â¼ú°³¹ß(¼³°è,Á¦Á¶) (¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶°øÁ¤Àåºñ)
¨í ¹Î°ü°øµ¿ÅõÀڹݵµÃ¼°í±ÞÀη¾缺
1. ÈÇÕ¹° Àü·Â¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ¹× Àü·Âº¯È¯ÀåÄ¡ ¸ðµâ »ó¿ëÈ ±â¼ú°³¹ß ÃÑ°ý
2. ģȯ°æ¡¤°íÈ¿À² ¿¡³ÊÁö »ê¾÷¿ë 1200V±Þ SiC MOSFET »ó¿ëÈ ¼ÒÀÚ°³¹ß
3. xEV¿ë 1.2kV±Þ ¿ÂÀúÇ× 10m¥Ø, 20m¥Ø SiC MOSFET »ó¿ë ¼ÒÀÚ°³¹ß
4. °íÈ¿À² xEV¿ë 1700V±Þ SiC MOSFET »ó¿ëÈ ¼ÒÀÚ°³¹ß
5. °í¿Âµ¿ÀÛ WBG ÆÄ¿ö¸ðµâ/ÆÐÅ°Áö¿ë ¹«°¡¾Ð °í¼Ó sinterable Á¢ÇÕ¼ÒÀç
6. °íÃâ·Â SiC ÆÄ¿ö¸ðµâ¿ë Àý¿¬-³Ã°¢ ÀÏüÇü °í¹æ¿ Integrated substrate ¼ÒÀç ±â¼ú
7. °íµµÈ °¡°ø ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Àü·Â¹ÝµµÃ¼¿ë °íÆòź/°íûÁ¤/´ë±¸°æ SiC Wafer ±âÆÇ Á¦Á¶ ±â¼ú °³¹ß
8. Àü±âÂ÷ÀÇ Àü·Âº¯È¯ ÀåÄ¡ Àû¿ëÀ» À§ÇÑ SiC Àü·Â¹ÝµµÃ¼¿ë °è¸é °áÇÔÀÌ °³¼±µÈ °íÇ°Áú
6ÀÎÄ¡ & 8ÀÎÄ¡ Multi Epi ¼ºÀå ±â¼ú°³¹ß
9. µðÁöÅÐ Á¤¹Ð¼³Á¤ °¡´ÉÇÑ °ÈÀý¿¬±Þ °í½Å·Ú¼º ÅëÇÕÇü ÆÄ¿ö IC ±â¼ú °³¹ß
10. SiC ½Ã½ºÅÛ¿ë ºÎµ¿Àü¿ø DC/DCÄÁ¹öÅÍ ³»Àå ÀúÀü·Â/Àý¿¬Çü ´ÜÀÏĨ ¼¾½º ¾ÚÇÁ ±â¼ú
11. ¸ð¹ÙÀϱâ±â ÃæÀü ¾Æ´äÅÍ¿ë 650V GaN ÄÁ¹öÅÍ ´ÜÀÏ IC °³¹ß
12. ¸ð¹ÙÀϱâ±â º¸µå¿¡ ³»ÀåµÇ´Â GaN ´ÜÀÏĨ ¹èÅ͸® ÃæÀü±â IC °³¹ß
13. 650V °í¼Ó½ºÀ§Äª GaN ±¸µ¿¿ë Á¤¹Ð DT Á¦¾îȸ·Î ³»ÀåÇÑ ÇÏÇÁºê¸®ÁöÇü ±¸µ¿ IC °³¹ß
14. ½º¸¶Æ® ÁְŠȯ°æÀ» À§ÇÑ ÀúÀü·Â ´ÙÁ¾ º¹ÇÕ À¯ÇØ°¡½º ÃøÁ¤¿ë Àû¿Ü¼± °¡½º¼¾¼ ±â¼ú °³¹ß
15. Áúº´°ü·Ã °¡½º ¹ÙÀÌ¿À¸¶Ä¿ÀÇ ½Ç½Ã°£ °ËÃâÀ» À§ÇÑ ¼ÒÇü °¡½º ºÐ¼® ¼¾¼ °³¹ß
16. ´ÙÁß ¹ÙÀÌ¿À¸¶Ä¿ ¼¾¼±â¹Ý ÃÊ°í°¨µµ ÆÐÇ÷Áõ °í¼ÓÁø´Ü ½Ã½ºÅÛ
17. ÃÊ °í°¨µµ Áúº´ À¯Àüü ½Å¼Ó/´ÙÁß °ËÃâ ¼¾¼ ¹× ½Ã½ºÅÛ °³¹ß
18. ³ôÀº fill-factor¿Í Èí¼öÀ²ÀÌ Çâ»óµÈ ¸¶ÀÌÅ©·Îº¼·Î¹ÌÅÍ ±â¼ú ±â¹Ý Â÷¼¼´ë 30¸¸ ȼÒ
¿þÀÌÆÛ ·¹º§ ÆÐÅ°ÁöÇü ¿È»ó À̹ÌÁö ¼¾¼ °³¹ß
19. ½º¸¶Æ®È¨¿¡¼ º¹ÇÕ »óȲÀÇ °í¼öÁØ ÀÎÁö¸¦ À§ÇÑ ¸ÖƼ¸ð´Þ AI À¶ÇÕ Áö´ÉÇü ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß
20. ½Ç½Ã°£ Ãæµ¹»óȲ °¨Áö ¹× ȸÇÇ Áö´ÉÀÌ Å¾ÀçµÈ ·Îº¿Ãæµ¹ ¾ÈÀü¿ë SoC ÅëÇÕÇ÷§Æû °³¹ß
21. ÃʼÒÇü/ÀúÀü·Â Tiny-AI ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ ¸ÖƼÆÄÀå ±¤½ÅÈ£ À¶ÇչݵµÃ¼ °³¹ß
22. ¸ÖƼ¸ð´Þ ó¸® ¹× ÀúÁö¿¬ µ¿ÀÛÀ» À§ÇÑ ¸ðºô¸®Æ¼¿ë AI ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß
23. ¼öµ¿ ±¤Åë½Å¸Á(PON: Passive Optical Network)¿ë MAC SoC °³¹ß
24. ÃʼÒÇü/°íÈÁú 3D ³»½Ã°æ¿ë CMOS ¿µ»ó¼¾¼
25. µðÁöÅÐ Ä¡°ú ÀÀ¿ë °æ·® ÀΰøÁö´É SoC ±â¹Ý Áö´ÉÇü ½ºÄ³³Ê Ç÷§Æû
26. 10 nm±Þ ÀÌÇÏ Deep Trench Silicon¿ë °í»ý»ê¼º ¹× Àú¼Õ»ó ¿øÀÚÃþ ½Ä°¢Àåºñ
27. 5nmÀÌÇÏ Logic ¹× 3D DRAM¿ë SiGe °í¼±Åúñ ½Ä°¢Àåºñ
28. Â÷¼¼´ë ÀúÀå ¼Ö·ç¼Ç¿ë 2%ÀÌÇÏ °í±ÕÀϵµ, ¹«¼Õ»ó, ½Å¹°Áú °í¼Ó Etch Àåºñ
29. Â÷¼¼´ë ÆÐÅÍ´×¿ë ½Ç¸®ÄÜ ¹× ±Ý¼ÓÈÇÕ¹°°è ¼ÒÀç ÁõÂøÀ» À§ÇÑ °í¹Ðµµ ÇöóÁ ALD Àåºñ °³¹ß
30. 3D ¸Þ¸ð¸® ³ª³ëÆÐÅÏ ¹× ±¹¼Ò¼ººÐºÐÆ÷ ÃøÁ¤¿ë Raman-Ellipsometry À¶ÇÕÃøÁ¤Àåºñ±â¼ú
31. °í½Å·Ú¼º multi-level cell ±¸Çö °¡´ÉÇÑ Self-rectifying FTJ ¾î·¹ÀÌ ¼ÒÀÚ °³¹ß
32. ÀÓ°è Àü¾Ð Á¶Àý °¡´ÉÇÑ 2´ÜÀÚ ¼±ÅüÒÀÚ ±â¹Ý ¼öÁ÷Çü °í¹Ðµµ ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ °øÁ¤ °³¹ß
33. PIMÇâ Å©·Î½ºÆ÷ÀÎÆ® SOM Àû¿ëÀ» À§ÇÑ °í ¼±Åúñ, °í ½Å·Ú¼º ¼±Åà ¼ÒÀÚ°³¹ß
34. Vector Matrix Multiplication(VMM) ¼öÇàÀ» À§ÇÑ °À¯Àüü ±â¹Ý °íÁýÀû 3D ½Ã³À½º
¾î·¹ÀÌ ÁýÀû°øÁ¤±â¼ú°³¹ß
35. 3D NAND ¸Þ¸ð¸® Cell °í ½Å·Ú¼º ±â¼ú ¹× ¼ÒÀÚ-ȸ·Î ÅëÇÕ Å×½ºÆ®º£µå Ç÷§Æû °³¹ß
36. Charge trap ³»Àç ÀúÂ÷¿ø ¹ÝµµÃ¼ ÃÊ°í¼Ó Àú¿Â ÇÕ¼º ¹× ÇöóÁ °áÇÔÁ¦¾î ±â¼ú ±â¹Ý
ÀúÀü·Â ½Ã³À½º ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ °³¹ß
37. ÃÊ°Å´ë ¾ð¾î¸ðµ¨À» À§ÇÑ ¾çÀÚÈ ±â¼ú ¹× ½ºÄÉÁÙ¸µ ±â¹ýÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Transformer °¡¼Ó
¼Ö·ç¼Ç °³¹ß
38. ¾×Ƽºê ¼¿ ¹ë·±½ÌÀÌ °¡´ÉÇÏ°í ¹«¼± Á¦¾î¸¦ Áö¿øÇÏ´Â Àü±âÀÚµ¿Â÷¿ë ¹èÅ͸® °ü¸® ¹ÝµµÃ¼
¼³°è ±â¼ú °³¹ß
39. LLM °¡¼ÓÀ» À§ÇÑ CXL ±â¹Ý PNM ¾ÆÅ°ÅØó ¹× ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç Ç÷§Æû °³¹ß
40. Ion Beam Etching °øÁ¤¿ë ¸®º»Çü À̿ºöÀÇ ºö¿¡³ÊÁö ¹× ÀԻ簢 Á¦¾î±â¹ý °³¹ß
41. °í¹æ¿ ±Ý¼Ó-ºØȺñ¼Ò º¹ÇÕ ¼ÒÀç ¹× °øÁ¤ °³¹ß
42. Àú¿Â ÇÏÀ̺긮µå º»µù¿ë metastable ±Ý¼Ó ÀüÇصµ±Ý ¼ÒÀç/Á¢ÇÕ Æ¯¼º ¹× ¼³°è ±â¼ú ¿¬±¸
43. EMI Â÷Æó ¹× ¹æ¿Æ¯¼º Çâ»óÀ» À§ÇÑ ÆÐÅ°Áö¿ë º¹ÇÕ Filler À¯Àü±â¼ú°³¹ß |
|
|
|
|
|
|
|
Ãâ°í¾È³» |
|
|
Ãâ°í¶õ ÀÎÅÍÆÄÅ© ¹°·ùâ°í¿¡¼ µµ¼°¡ Æ÷ÀåµÇ¾î ³ª°¡´Â ½ÃÁ¡À» ¸»Çϸç, ½ÇÁ¦ °í°´´Ô²²¼ ¼ö·ÉÇϽô ½Ã°£Àº »óÇ°Áغñ¿Ï·áÇØ Ãâ°íÇÑ ³¯Â¥ + Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÔ´Ï´Ù. |
|
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼´Â ¸ðµç »óÇ°ÀÇ Àç°í°¡ ÃæÁ·ÇÒ ½Ã¿¡ ÀÏ°ý Ãâ°í¸¦ ÇÕ´Ï´Ù. |
|
ÀϺΠÀç°í¿¡ ´ëÇÑ Ãâ°í°¡ ÇÊ¿äÇÒ ½Ã¿¡´Â ´ã´çÀÚ¿¡°Ô Á÷Á¢ ¿¬¶ôÇϽðųª, °í°´¼¾ÅÍ(°í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ôÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
¹è¼Ûºñ ¾È³» |
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼ ´ë·®±¸¸Å´Â ¹è¼Û·á°¡ ¹«·áÀÔ´Ï´Ù. |
|
´Ü, 1°³ÀÇ »óÇ°À» ´Ù¼öÀÇ ¹è¼ÛÁö·Î ÀÏ°ý ¹ß¼Û½Ã¿¡´Â 1°³ÀÇ ¹è¼ÛÁö´ç 2,000¿øÀÇ ¹è¼Ûºñ°¡ ºÎ°úµË´Ï´Ù. |
¾Ë¾ÆµÎ¼¼¿ä! |
|
|
°í°´´Ô²²¼ ÁÖ¹®ÇϽŠµµ¼¶óµµ µµ¸Å»ó ¹× ÃâÆÇ»ç »çÁ¤¿¡ µû¶ó Ç°Àý/ÀýÆÇ µîÀÇ »çÀ¯·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÎ ¼¿ï ¹× ¼öµµ±ÇÀº 1~2ÀÏ, Áö¹æÀº 2~3ÀÏ, µµ¼, »ê°£, ±ººÎ´ë´Â 3ÀÏ ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù.
(´Ü, Åä/ÀÏ¿äÀÏ Á¦¿Ü) |
|
|
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼´Â °í°´´ÔÀÇ ´Ü¼ø º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯°ú ¹ÝÇ°¿¡ µå´Â ºñ¿ëÀº °í°´´ÔÀÌ ÁöºÒÄÉ µË´Ï´Ù.
´Ü, »óÇ°À̳ª ¼ºñ½º ÀÚüÀÇ ÇÏÀÚ·Î ÀÎÇÑ ±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°Àº ¹«·á·Î ¹ÝÇ° µË´Ï´Ù.
±³È¯/¹ÝÇ°/º¸ÁõÁ¶°Ç ¹× Ç°Áúº¸Áõ ±âÁØÀº ¼ÒºñÀڱ⺻¹ý¿¡ µû¸¥ ¼ÒºñÀÚ ºÐÀï ÇØ°á ±âÁØ¿¡ µû¶ó ÇÇÇظ¦ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Á¤È®ÇÑ È¯ºÒ ¹æ¹ý ¹× ȯºÒÀÌ Áö¿¬µÉ °æ¿ì 1:1¹®ÀÇ °Ô½ÃÆÇ ¶Ç´Â °í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ô Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
¼ÒºñÀÚ ÇÇÇغ¸»óÀÇ ºÐÀïó¸® µî¿¡ °üÇÑ »çÇ×Àº ¼ÒºñÀÚºÐÀïÇØ°á±âÁØ(°øÁ¤°Å·¡À§¿øȸ °í½Ã)¿¡ µû¶ó ºñÇØ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ °¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
»óÇ°À» °ø±Þ ¹ÞÀ¸½Å ³¯·ÎºÎÅÍ 7ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
°ø±Þ¹ÞÀ¸½Å »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀÌ Ç¥½Ã, ±¤°í ³»¿ë°ú ´Ù¸£°Å³ª ´Ù¸£°Ô ÀÌÇàµÈ °æ¿ì¿¡´Â °ø±Þ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 3°³¿ùÀ̳», ±×»ç½ÇÀ» ¾Ë°Ô µÈ ³¯ ¶Ç´Â ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´ø ³¯·ÎºÎÅÍ 30ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
»óÇ°¿¡ ¾Æ¹«·± ÇÏÀÚ°¡ ¾ø´Â °æ¿ì ¼ÒºñÀÚÀÇ °í°´º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯Àº »óÇ°ÀÇ Æ÷Àå»óÅ µîÀÌ ÀüÇô ¼Õ»óµÇÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
|
|
|
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
|
°í°´´ÔÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¸ê½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. (´Ü, »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀ» È®ÀÎÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå µîÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì´Â Á¦¿Ü) |
|
½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÒ Á¤µµ·Î ¹°Ç°ÀÇ °¡Ä¡°¡ ¶³¾îÁø °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
Æ÷Àå °³ºÀµÇ¾î »óÇ° °¡Ä¡°¡ ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ¹ÝÇ° ȯºÒ |
|
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ´Ù¸¥ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°À» µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. |
|
1°³ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°ÀÌ ¿Ï·áµÈ ÈÄ ´Ù¸¥ Áö¿ª ¹ÝÇ°À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌÁ¡ ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|