´ë·®±¸¸ÅȨ >
°æÁ¦°æ¿µ
>
°æ¿µ Àü¹Ý
>
°æ¿µÀϹÝ/ÀÌ·Ð

2024 ±¹³»¿Ü ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¹× ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÃѶ÷°ú ºñÁî´Ï½º Àü·«(ÇÏ)
Á¤°¡ 440,000¿ø
ÆǸŰ¡ 396,000¿ø (10% , 44,000¿ø)
I-Æ÷ÀÎÆ® 22,000P Àû¸³(6%)
ÆǸŻóÅ ÆǸÅÁß
ºÐ·ù °æ¿µÀϹÝ/ÀÌ·Ð
ÀúÀÚ »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ
ÃâÆÇ»ç/¹ßÇàÀÏ »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ / 2024.04.11
ÆäÀÌÁö ¼ö 736 page
ISBN 9791192693941
»óÇ°ÄÚµå 356896960
°¡¿ëÀç°í Àç°íºÎÁ·À¸·Î ÃâÆÇ»ç ¹ßÁÖ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.
 
ÁÖ¹®¼ö·® :
´ë·®±¸¸Å Àü¹® ÀÎÅÍÆÄÅ© ´ë·®ÁÖ¹® ½Ã½ºÅÛÀ» ÀÌ¿ëÇÏ½Ã¸é °ßÀû¿¡¼­ºÎÅÍ ÇàÁ¤¼­·ù±îÁö Æí¸®ÇÏ°Ô ¼­ºñ½º¸¦ ¹ÞÀ¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
µµ¼­¸¦ °ßÀûÇÔ¿¡ ´ãÀ¸½Ã°í ½Ç½Ã°£ °ßÀûÀ» ¹ÞÀ¸½Ã¸é ±â´Ù¸®½Ç ÇÊ¿ä¾øÀÌ ÇÒÀιÞÀ¸½Ç ¼ö ÀÖ´Â °¡°ÝÀ» È®ÀÎÇÏ½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¸ÅÁÖ ¹ß¼ÛÇØ µå¸®´Â ÀÎÅÍÆÄÅ©ÀÇ ½Å°£¾È³» Á¤º¸¸¦ ¹Þ¾Æº¸½Ã¸é »óÇ°ÀÇ ¼±Á¤À» ´õ¿í Æí¸®ÇÏ°Ô ÇÏ½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

 ´ë·®±¸¸ÅȨ  > °æÁ¦°æ¿µ  > °æ¿µ Àü¹Ý  > °æ¿µÀϹÝ/ÀÌ·Ð

 
Ã¥³»¿ë
¡à 2024³â DRAM ¼ö¿ä´Â 19% Áõ°¡ÇÑ 293¾ï GB·Î ¿¹»óµÇ´Â ¹Ý¸é »ý»êÀº Àü³âºñ 16% ´Ã¾î³­ 288¾ï GB¿¡ ±×Ä¥ Àü¸ÁÀÌ´Ù. Ĩ ¾÷üµéÀÇ ÃâÇÏ·®Àº »ý»ê·®º¸´Ù ¸¹Àº 312¾ï GB·Î 18% Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù. ¡à WSTS¿¡ µû¸£¸é DRAM ½ÃÀå±Ô¸ð´Â ¡®23³â 1ºÐ±â 100¾ï ´Þ·¯¸¦ ÀúÁ¡À¸·Î °è¼Ó Áõ°¡ÇØ ¡®24³â 4ºÐ±â¿¡´Â 238¾ï ´Þ·¯±îÁö ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù. ¿¬°£À¸·Î´Â ¡®23³â 509¾ï ´Þ·¯¿¡¼­ ¡®24³â 813¾ï ´Þ·¯·Î ¾à 60% Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÑ´Ù. ¡à 2023³â NAND ½ÃÀåÀº ¼ö¿ä 8% Áõ°¡, »ý»ê 10% °¨¼Ò, ÃâÇÏ 13% Áõ°¡¸¦ ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù. ¹Ý¸é, 2024³â ¼ö¿ä´Â 22% Áõ°¡ÇÑ 7,410¾ï GB, »ý»êÀº 21% Áõ°¡ÇÑ 7,360¾ï GB, ÃâÇÏ´Â 18% Áõ°¡ÇÑ 7,810¾ï GB¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î ¸ðµ¨¸µ µÈ´Ù. ¡à ÀÌ¿¡ µû¶ó, NAND ¾÷üµéÀÇ Ä¨ Àç°í´Â ¡®22³â ¸» 1,420¾ï GB¿¡¼­ ¡®23³â 1ºÐ±â Áß 1,570¾ï GB±îÁö Áõ°¡ÇÑ ÈÄ, ¿¬¸»¿¡´Â 890¾ï GB±îÁö °¨¼ÒÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ºÐ±â ±âÁØ NAND ½ÃÀå ±Ô¸ð(Ĩ ±âÁØ)´Â 1 ºÐ±â¸¦ ÀúÁ¡À¸·Î ´Ù¼Ò ºÒ±ÔÄ¢ÇÑ ¸ð¾çÀ» ±×¸®¸ç Á¡Â÷ ȸº¹ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ¡à ÇÑÆí GartnerÀÇ Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¼¼°è ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀåÀº 2021³â 2,558¾ï ´Þ·¯¿¡¼­ 2027³â 3,332¾ï 1,000¸¸ ´Þ·¯·Î ¿¬Æò±Õ 4.5%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¿¹ÃøµÈ´Ù. ¡á ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼´Â ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ¾à 60~70%¸¦ Â÷ÁöÇÏ´Â °Å´ë ½ÃÀåÀ¸·Î ÃÊ¿¬°á£¿ÃÊÁö´É ±â¼úÀÇ Àü»ê¾÷ È®»ê¿¡ µû¶ó ²ÙÁØÇÑ ¼ºÀåÀÌ Àü¸ÁµÊ ¡á ±âÁ¸ »ê¾÷¿¡ ´ëÇÑ ICT Á¢¸ñ¿¡ µû¸¥ µðÁöÅÐ Àüȯ¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä´Â ´Ùº¯È­ÇÏ´Â Ãß¼¼·Î, ÃÊ¿¬°á£¿ÃÊÁö´É ±â¼úÈ®»ê¿¡ µû¸¥ ¼ö¿ä Áõ°¡·Î ½´ÆÛ»çÀÌŬÀÌ Àü¸ÁµÊ(ÀΰøÁö´É£¿ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷£¿¸ÞŸ¹ö½º£¿5G/6G£¿Å¬¶ó¿ìµå£¿º¸¾È µî) ¡à ±¹³» ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀåÀº 2021³â 10Á¶ 6,400¾ï ¿ø¿¡¼­ 2027³â 13Á¶ 8,700¾ï ¿øÀ¸·Î ¿¬Æò±Õ 4.5%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù. ¡á ¿ì¸®³ª¶óÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼°è ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº 21%(`19³â) ¼öÁØÀ̳ª, ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷ ¼¼°è ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº ¾à 3.2%¿¡ ºÒ°úÇÏ¿© 10¿© ³â°£ Á¤Ã¼µÈ »óÅÂ. £¿ °í¼º´ÉÀÇ ¼ÒÇü ÀüÀÚÁ¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä ±ÞÁõ°ú ÃÖ±Ù ½Å±Ô ÆÕ °Ç¼³ÀÇ Áõ°¡·Î ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â Áö¼ÓÀûÀÎ ¼ºÀåÀÌ Àü¸ÁµÇ¾î ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼Àåºñ ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀ嵿·ÂÀº ÃæºÐÇÑ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ¡á vision research reports¿¡ ÃÖ±Ù º¸°í¼­¿¡ µû¸£¸é ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â `22³â ¾à 967¾ï ´Þ·¯¿¡¼­ `32³â¿¡´Â ¾à 2,041¾ï 7õ¸¸ ´Þ·¯¿¡ ´ÞÇØ ¿¬Æò±Õ ¼ºÀå·ü(CAGR) 7.76%·Î ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»ó. - °Å½Ã°æÁ¦ ¿ªÇ³°ú ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ºÒȲ¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í AI, Â÷·®¿ë ¹ÝµµÃ¼ µî¿¡ ÅõÀÚ°¡ È°¹ßÇØ °ÇÀüÇÑ °æÁ¦ »óȲÀ» À¯Áö. - `22³â Àü°øÁ¤ Àåºñ ½ÃÀåÀÌ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ¸ÅÃâ Á¡À¯À²ÀÇ 73.35%¸¦ Â÷ÁöÇÏ¿´°í ÇâÈÄ¿¡µµ CAGR 8.02%·Î ºü¸¥ ¼ºÀåÀ¸·Î ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ¸ç ÈÄ°øÁ¤ Àåºñ ½ÃÀåÀº CAGR 6.93%·Î ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸Á. £¿ KISTI ÃÖ±Ù º¸°í¼­¿¡ µû¸£¸é ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº 5G¡¤ÀÚÀ²ÁÖÇࡤ»ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT)¡¤ÀΰøÁö´É(AI) ¹ß´Þ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä È®»êÀ¸·Î ¼ºÀå¼¼°¡ Áö¼ÓµÇ°í ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ðµµ ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¡á ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ½ÃÀåÀº `21³â ¾à 123¾ï ´Þ·¯¿¡¼­ `27³â±îÁö ¿¬Æò±Õ ¾à10.5%ÀÇ ¼ºÀå·ü·Î Áõ°¡ÇÏ¿©, `27³â¿¡´Â 225¾ï ´Þ·¯¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î Àü¸Á. ¡á Àü°øÁ¤ Àåºñ ºÐ¾ß°¡ ¹ÝµµÃ¼ Àüü Àåºñ ½ÃÀåÀÇ 80% ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â »óȲ¿¡¼­ ÈÄ°øÁ¤ Àåºñ ºÐ¾ß°¡ ±Þ°ÝÇÑ ¼ºÀåÀ¸·Î ÇâÈÄ °ÝÂ÷°¡ °¨¼ÒÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»ó. £¿ Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ ÀÇÇϸé 2021³â 9¾ï 8,000¸¸ ´Þ·¯¿´´ø ¼¼°è Àü·Â¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå±Ô¸ð´Â 2027³â 65¾ï 7,500¸¸ ´Þ·¯·Î Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù. £¿ StatistaÀÇ ÃÖ±Ù º¸°í¼­¿¡ ÀÇÇϸé 2021³â 741¾ï 1,000¸¸ ´Þ·¯¿´´ø ¼¼°è ¾Æ³¯·Î±× ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ±Ô¸ð°¡ 2027³â 1,016¾ï 6,000¸¸ ´Þ·¯·Î Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¡à MarketsAndMarkets¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¹ÝµµÃ¼¼³°è IP ¼¼°è ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 2021³â 50¾ï ´Þ·¯¿¡¼­ ¿¬Æò±Õ ¼ºÀå·ü 7%¸¦ º¸À̸ç 2027³â 76¾ï 3,000¸¸ ´Þ·¯·Î ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇÏ¿´´Ù.
¸ñÂ÷
¥¶. ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ÇÙ½É ºÐ¾ß ½ÃÀåºÐ¼® 1. ¹ÝµµÃ¼ ÷´Ü ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ¹× ±â¼ú ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á °¡. °³È² ³ª. ±¹³»¿Ü °ü·Ã ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á ¨ç ¼¼°è ½ÃÀå ¨è ±¹³» ½ÃÀå (2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® °¡. °³È² ³ª. ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ ¨ç ÇØ¿Ü ±â¾÷ ¨è ±¹³» ±â¾÷ ¨é ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ±â°ü 2) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) Çٽɱâ¼ú ¼±Á¤ (2) Çٽɱâ¼ú Á¤ÀÇ °¡. TSV ÀÎÅÍÆ÷Àú È°¿ë 3Â÷¿ø ÀûÃþ ±â¼ú ³ª. °íÁ¤¹Ð ´ÙÃþ Á¢ÇÕ ±â¼ú ´Ù. °íÁýÀû Àç¹è¼± ±â¼ú (3) ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Á¾ÇÕ°èȹ¾È °¡. ±â¼ú°³¹ß ¸ñÇ¥ ³ª. ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Àü·« [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÷´Ü ÆÐŰ¡ Àåºñ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 2. ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢ ¹× ÁõÂø Àåºñ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ¹× ±â¼ú ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á °¡. °³È² ³ª. °ü·Ã ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á ¨ç ¼¼°è ½ÃÀå ¨è ±¹³» ½ÃÀå (2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® °¡. °³È² ³ª. ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ ¨ç ÇØ¿Ü ±â¾÷ ¨è ±¹³» ±â¾÷ ¨é ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ±â°ü 2) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú °¡. ¿øÀÚÃþ¹Ú¸· ÁõÂø ±â¼ú ³ª. ¿¡ÇÇÅýà ¼ºÀå ±â¼ú ´Ù. Ãʹڸ· ½Ä°¢±â¼ú ¶ó. Ãʹ̼¼ ³ª³ë °øÁ¤¿ë Àåºñ Á¦Á¶ ±â¼ú (3) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß ¸ñÇ¥ (4) ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Á¾ÇÕ°èȹ¾È [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢ ¹× ÁõÂø Àåºñ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 3. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ¹× ±â¼ú ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á °¡. °³È² ³ª. ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á ¨ç ¼¼°è ½ÃÀå ¨è ±¹³» ½ÃÀå (2) ±¹³» ±â¼ú ºÐ¼® °¡. °³È² ³ª. ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ ¨ç ÇØ¿Ü ±â¾÷ ¨è ±¹³» ±â¾÷ ¨é ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ±â°ü 2) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³» Çٽɱâ¼ú ¼±Á¤ (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú ¼¼ºÎ ³»¿ë °¡. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ¿ë À̿¼ҽº ºÎÇ°Á¦Á¶ ³ª. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ¿ë ESC ºÎÇ°Á¦Á¶ ±â¼ú ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ¿ë ÀÌ¿Â Áú·® ÇÊÅÍ ±â¼ú (3) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß ¸ñÇ¥ (4) ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Á¾ÇÕ°èȹ¾È [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ Àåºñ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 4. ¹èÃâÁ¦¾î ¹× ȯ°æÃøÁ¤ Àåºñ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ¹× ±â¼ú ºÐ¼® (1) °³È² (2) ±¹³»¿Ü ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á °¡. ¼¼°è ½ÃÀå ³ª. ±¹³» ½ÃÀå (3) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® °¡. °³È² ³ª. ±¹³»¿Ü ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ ¨ç ÇØ¿Ü ±â¾÷ ¨è ±¹³» ±â¾÷ ¨é ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ±â°ü 2) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú ¼¼ºÎ³»¿ë °¡. NOx Á¦°Å ±â¼ú ³ª. AI ±â¹Ý ½ºÅ©·¯¹ö ģȯ°æ ¿î¿ë ±â¼ú ´Ù. ¿Â½Ç°¡½º ¹èÃâ Á¤·® ÅëÇÕ ¸ð´ÏÅ͸µ ºÐ¼® ±â¼ú ¶ó. ´ÙÁ¾ °øÁ¤¡¤ºÎ»ý°¡½º ¸ð´ÏÅ͸µ ±â¼ú (3) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß ¸ñÇ¥ (4) ±¹³» Á߱⠱â¼ú°³¹ß Á¾ÇÕ°èȹ¾È [º°Ã·] '¹èÃâÁ¦¾î ¹× ȯ°æÃøÁ¤ Àåºñ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷º° ºÐ·ù 5. ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú °³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 6. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù ¥·. ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ÁÖ¿ä ¼Ò¤ýºÎ¤ýÀå ½ÃÀåºÐ¼® 1. EUV ºí·©Å© ¸¶½ºÅ© ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ °¡. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú °³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] 'EUV ºí·©Å© ¸¶½ºÅ©'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) °³¿ä (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 2. ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ - Mask Writer ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ ³ª. ¼¼°è ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á ´Ù. ±¹³» ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á ¶ó. ¼öÃâÀÔ µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. ±¹³» Lithography ÀåÄ¡ ±â¾÷ÇöȲ ³ª. ¼¼°è Lithography ÀåÄ¡ ±â¾÷ÇöȲ 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü (3) ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß µ¿Çâ 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú °³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '¸®¼Ò±×·¡ÇÇ - Mask Writer'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷º° ºÐ·ù 3. ¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ °¡. »õ·Î¿î Àç·áÀÇ µîÀå¿¡ µû¸¥ ±â¼ú º¯È­ ³ª. ·¹ÀÌ¾î ·¹À̾ƿô ¹æÇâÀÇ º¯°æ ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ¹Ì¼¼È­ ¹× ´ÙÃþÈ­ ¶ó. 3D NAND ±â¼ú¿¡ µû¸¥ CMP °øÁ¤ È®´ë (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ °¡. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú °³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 4. ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ °¡. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷ÀÇ Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ 5. Åͺ¸½ÄÆßÇÁ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] 'Åͺ¸½ÄÆßÇÁ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ 6. ¹ÝµµÃ¼¿ë È÷ÅÍ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼¿ë È÷ÅÍ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ 7. Áø°øÆßÇÁ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ °¡. °Ç½ÄÆßÇÁÀÇ ¼ö¿ä Áõ°¡, ±×·Î ÀÎÇÑ ±â¼ú ¿ä±¸ ³ª. ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Áø°øÆßÇÁ °íÀå ÇØ°á ±â¼ú ´Ù. ÇØ¿Ü¿¡ ºñÇØ ¿­¾ÇÇÑ ±â¼ú (2) ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß µ¿Çâ °¡. ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] 'Áø°øÆßÇÁ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷ÀÇ Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ 8. MFC(Mass Flow Controller) ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] 'MFC(Mass Flow Controller)'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) °³¿ä (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ 9. CVD(Chemical Vapor Deposition) ÀåÄ¡ ºÎÇ° ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] 'CVD(Chemical Vapor Deposition) ÀåÄ¡ ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷º° ºÐ·ù 10. ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º·ù[11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe] ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ ³ª. ¼¼°è ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á ´Ù. ±¹³» ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ±â¾÷ÇöȲ ³ª. ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ±â¾÷ÇöȲ 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] ' ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º·ù[11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe]'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) ±¹³» ±â¼ú ¼öÁØ 11. TDMAS ¼ÒÀç ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ ³ª. ¼¼°è ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á ´Ù. ±¹³» ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. ±¹³» TDMAS ±â¾÷ÇöȲ ³ª. ¼¼°è TDMAS ±â¾÷ÇöȲ 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] 'TDMAS ¼ÒÀç'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) °³¿ä (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù (5) ±¹³» ±â¼ú ¼öÁØ 12. ÃÊ°í¼øµµ ºÒÈ­¼ö¼Ò ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü ±â¼ú µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] 'ÃÊ°í¼øµµ ºÒÈ­¼ö¼Ò'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû ´ÏÁî (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 15. ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) °³¿ä (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 14. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ µ¿Çâ (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 15. Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) ¼¼Á¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ ³ª. ¼¼°è ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á ´Ù. ±¹³» ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á ¶ó. ¼öÃâÀÔ µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ±â¾÷ÇöȲ ³ª. ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ±â¾÷ÇöȲ 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ °¡. ÃÖ±Ù ±¹»êÈ­ ¼º°ø »ç·Ê ³ª. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ (1) Çؿܾ÷ü (2) ±¹³»¾÷ü 5) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] 'Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) ¼¼Á¤ÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù (5) ±¹³» ±â¼ú¼öÁØ 16. ¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 17. 2Â÷¿ø, 3Â÷¿ø ÃøÁ¤±â ºÐ·ù 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] '2Â÷¿ø, 3Â÷¿ø ÃøÁ¤±â'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 18. Bare Wafer Æòźµµ °Ë»çÀåÄ¡ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] 'Bare Wafer Æòźµµ °Ë»çÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 19. ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ ³ª. ¼¼°è ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á ´Ù. ±¹³» ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á ¶ó. ¼öÃâÀÔ µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ±â¾÷ÇöȲ ³ª. ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ±â¾÷ÇöȲ 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ °¡. ±¹³» ÁÖ¿ä ´ë±â¾÷¿¡¼­´Â ¸Þ¸ð¸®Å×½ºÅÍ ÀåÄ¡¸¦ °³¹ß ¹× Àû¿ë ³ª. ¿þÀÌÆÛ Å©±âÀÇ ´ëÇüÈ­ ¹× ȸ·Î¼±Æø Å©±âÀÇ ¹Ì¼¼È­·Î ÁÖ°Ë»çÀåÄ¡¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä ±ÞÁõ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ °¡. ÃÖ±Ù ±¹»êÈ­ ¼º°ø »ç·Ê ³ª. °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê(NTIS) ´Ù. ÇÐÀ§ ³í¹® (RISS) (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹è·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù (5) ±¹³» ±â¼ú¼öÁØ 20. Àü·Â(ÆÄ¿ö)¹ÝµµÃ¼(Power IC) ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] 'Àü·Â(ÆÄ¿ö)¹ÝµµÃ¼(Power IC)'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) °³¿ä (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 21. ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ IC ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ (2) °ü·Ã ¿¬±¸°³¹ß ÃßÁø »ç·Ê (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ IC'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) °³¿ä (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ 22. ·çÅ×´½(Ru) ¹Ú¸·ÀÇ ALD Àü±¸Ã¼ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ ³ª. ¼¼°è½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á ´Ù. ±¹³» ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. ±¹³» ¿øÀÚÃþ ÁõÂø ±â¾÷ÇöȲ ³ª. ¼¼°è ¿øÀÚÃþ ÁõÂø ±â¾÷ÇöȲ 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '·çÅ×´½(Ru) ¹Ú¸·ÀÇ ALD Àü±¸Ã¼'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ ±¸Á¶ ¹× ºÐ·ù °¡. Ru ALD Àü±¸Ã¼ÀÇ Àû¿ë¹üÀ§ ³ª. Ru ALD Àü±¸Ã¼ÀÇ ºÐ·ù 23. °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿­ ¼ÒÀç ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ ³ª. ¼¼°è ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á ´Ù. ±¹³» ½ÃÀåÇöȲ ¹× Àü¸Á (3) ±¹³»¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ °¡. ±¹³» ¹æ¿­¼ÒÀç ±â¾÷ÇöȲ ³ª. ¼¼°è ¹æ¿­¼ÒÀç ±â¾÷ÇöȲ 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú (3) ±¹³» ±â¼úÀÌÀü [º°Ã·] '°íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿­ ¼ÒÀç'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ ±¸Á¶ ¹× ºÐ·ù °¡. °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿­ ¼ÒÀç ºÐ¾ßÀÇ ¹ë·ùüÀÎ ³ª. °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿­ ¼ÒÀçÀÇ ±¸¼º ¹× ºÐ·ù (4) ±¹³» ±â¼ú¼öÁØ 24. ½Ä°¢ÀåÄ¡¿ë ÄÁÆ®·Ñ·¯ ¹× ¼¾¼­ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] '½Ä°¢ÀåÄ¡¿ë ÄÁÆ®·Ñ·¯ ¹× ¼¾¼­'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ (3) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 25. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ±â ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Ü ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ±â'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ ±¸Á¶ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù 26. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û ¹Ý¼Û ¸ðµâ ¹× ÀåÄ¡ ºÐ¾ß 1) ±¹³»¿Ü »ê¾÷ ¹× ½ÃÀå ºÐ¼® (1) »ê¾÷ ºÐ¼® (2) ½ÃÀå ºÐ¼® °¡. ¼¼°è½ÃÀå ³ª. ±¹³»½ÃÀå 2) ±¹³»¿Í ±â¼ú ºÐ¼® (1) ±â¼ú °³¹ß À̽´ (2) ¿¬±¸ °³¹ß µ¿Çâ (3) ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ¾÷ü µ¿Çâ °¡. Çؿܾ÷ü ³ª. ±¹³»¾÷ü 3) ±Û·Î¹ú ¼­ÇöóÀÌ Ã¼ÀÎ ºÐ¼® (1) ½ÃÀå ¸Å·Âµµ (2) »ý»ê °ø¹é Á¤µµ (3) ÇØ¿Ü ÁöÇ⼺ (4) ¼öÀÔ ¸®½ºÅ© (5) ¼öÃâ »ê¾÷È­ (6) °æÀï·Â ÇöȲ 4) ±¹³» ±â¼ú°³¹ß Àü·« (1) ±¹³»±â¾÷ ±â¼ú°³¹ß Àü·« (2) ±¹³» Çٽɱâ¼ú [º°Ã·] '¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û ¹Ý¼Û ¸ðµâ ¹× ÀåÄ¡'ÀÇ Àü·«Àû ÀÌÇØ (1) »ê¾÷ ¹× ½ÃÀåÀû ÀÇ¹Ì (2) »ê¾÷Àû Á߿伺 (3) »ê¾÷Àû ¹ë·ùüÀÎ ±¸Á¶ (4) »ê¾÷Àû ºÐ·ù ¥¸. 2024³âµµ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß Á¤ºÎ ½Å±ÔÁö¿ø ¿¬±¸°³¹ß Á¦¾È¿äû¼­(RFP) ¨ç È­ÇÕ¹°Àü·Â¹ÝµµÃ¼°íµµÈ­±â¼ú°³¹ß (»ó¿ëÈ­¼ÒÀÚ ¹× ¸ðµâ) ¨è È­ÇÕ¹°Àü·Â¹ÝµµÃ¼°íµµÈ­±â¼ú°³¹ß (¼ÒÀç) ¨é È­ÇÕ¹°Àü·Â¹ÝµµÃ¼°íµµÈ­±â¼ú°³¹ß (ÆÄ¿öIC) ¨ê ½ÃÀå¼±µµ¸¦À§ÇÑÇѱ¹ÁÖµµÇüK-Sensor±â¼ú°³¹ß»ç¾÷ (½ÃÀåÁÖµµÇüK-¼¾¼­±â¼ú°³¹ß) ¨ë Â÷¼¼´ëÁö´ÉÇü¹ÝµµÃ¼±â¼ú°³¹ß(¼³°è,Á¦Á¶) (½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼»ó¿ëÈ­¼³°è) ¨ì Â÷¼¼´ëÁö´ÉÇü¹ÝµµÃ¼±â¼ú°³¹ß(¼³°è,Á¦Á¶) (¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶°øÁ¤Àåºñ) ¨í ¹Î°ü°øµ¿ÅõÀڹݵµÃ¼°í±ÞÀη¾缺 1. È­ÇÕ¹° Àü·Â¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ¹× Àü·Âº¯È¯ÀåÄ¡ ¸ðµâ »ó¿ëÈ­ ±â¼ú°³¹ß ÃÑ°ý 2. ģȯ°æ¡¤°íÈ¿À² ¿¡³ÊÁö »ê¾÷¿ë 1200V±Þ SiC MOSFET »ó¿ëÈ­ ¼ÒÀÚ°³¹ß 3. xEV¿ë 1.2kV±Þ ¿ÂÀúÇ× 10m¥Ø, 20m¥Ø SiC MOSFET »ó¿ë ¼ÒÀÚ°³¹ß 4. °íÈ¿À² xEV¿ë 1700V±Þ SiC MOSFET »ó¿ëÈ­ ¼ÒÀÚ°³¹ß 5. °í¿Âµ¿ÀÛ WBG ÆÄ¿ö¸ðµâ/ÆÐÅ°Áö¿ë ¹«°¡¾Ð °í¼Ó sinterable Á¢ÇÕ¼ÒÀç 6. °íÃâ·Â SiC ÆÄ¿ö¸ðµâ¿ë Àý¿¬-³Ã°¢ ÀÏüÇü °í¹æ¿­ Integrated substrate ¼ÒÀç ±â¼ú 7. °íµµÈ­ °¡°ø ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Àü·Â¹ÝµµÃ¼¿ë °íÆòź/°íûÁ¤/´ë±¸°æ SiC Wafer ±âÆÇ Á¦Á¶ ±â¼ú °³¹ß 8. Àü±âÂ÷ÀÇ Àü·Âº¯È¯ ÀåÄ¡ Àû¿ëÀ» À§ÇÑ SiC Àü·Â¹ÝµµÃ¼¿ë °è¸é °áÇÔÀÌ °³¼±µÈ °íÇ°Áú 6ÀÎÄ¡ & 8ÀÎÄ¡ Multi Epi ¼ºÀå ±â¼ú°³¹ß 9. µðÁöÅÐ Á¤¹Ð¼³Á¤ °¡´ÉÇÑ °­È­Àý¿¬±Þ °í½Å·Ú¼º ÅëÇÕÇü ÆÄ¿ö IC ±â¼ú °³¹ß 10. SiC ½Ã½ºÅÛ¿ë ºÎµ¿Àü¿ø DC/DCÄÁ¹öÅÍ ³»Àå ÀúÀü·Â/Àý¿¬Çü ´ÜÀÏĨ ¼¾½º ¾ÚÇÁ ±â¼ú 11. ¸ð¹ÙÀϱâ±â ÃæÀü ¾Æ´äÅÍ¿ë 650V GaN ÄÁ¹öÅÍ ´ÜÀÏ IC °³¹ß 12. ¸ð¹ÙÀϱâ±â º¸µå¿¡ ³»ÀåµÇ´Â GaN ´ÜÀÏĨ ¹èÅ͸® ÃæÀü±â IC °³¹ß 13. 650V °í¼Ó½ºÀ§Äª GaN ±¸µ¿¿ë Á¤¹Ð DT Á¦¾îȸ·Î ³»ÀåÇÑ ÇÏÇÁºê¸®ÁöÇü ±¸µ¿ IC °³¹ß 14. ½º¸¶Æ® ÁְŠȯ°æÀ» À§ÇÑ ÀúÀü·Â ´ÙÁ¾ º¹ÇÕ À¯ÇØ°¡½º ÃøÁ¤¿ë Àû¿Ü¼± °¡½º¼¾¼­ ±â¼ú °³¹ß 15. Áúº´°ü·Ã °¡½º ¹ÙÀÌ¿À¸¶Ä¿ÀÇ ½Ç½Ã°£ °ËÃâÀ» À§ÇÑ ¼ÒÇü °¡½º ºÐ¼® ¼¾¼­ °³¹ß 16. ´ÙÁß ¹ÙÀÌ¿À¸¶Ä¿ ¼¾¼­±â¹Ý ÃÊ°í°¨µµ ÆÐÇ÷Áõ °í¼ÓÁø´Ü ½Ã½ºÅÛ 17. ÃÊ °í°¨µµ Áúº´ À¯Àüü ½Å¼Ó/´ÙÁß °ËÃâ ¼¾¼­ ¹× ½Ã½ºÅÛ °³¹ß 18. ³ôÀº fill-factor¿Í Èí¼öÀ²ÀÌ Çâ»óµÈ ¸¶ÀÌÅ©·Îº¼·Î¹ÌÅÍ ±â¼ú ±â¹Ý Â÷¼¼´ë 30¸¸ È­¼Ò ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ ÆÐÅ°ÁöÇü ¿­È­»ó À̹ÌÁö ¼¾¼­ °³¹ß 19. ½º¸¶Æ®È¨¿¡¼­ º¹ÇÕ »óȲÀÇ °í¼öÁØ ÀÎÁö¸¦ À§ÇÑ ¸ÖƼ¸ð´Þ AI À¶ÇÕ Áö´ÉÇü ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß 20. ½Ç½Ã°£ Ãæµ¹»óȲ °¨Áö ¹× ȸÇÇ Áö´ÉÀÌ Å¾ÀçµÈ ·Îº¿Ãæµ¹ ¾ÈÀü¿ë SoC ÅëÇÕÇ÷§Æû °³¹ß 21. ÃʼÒÇü/ÀúÀü·Â Tiny-AI ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ ¸ÖƼÆÄÀå ±¤½ÅÈ£ À¶ÇչݵµÃ¼ °³¹ß 22. ¸ÖƼ¸ð´Þ ó¸® ¹× ÀúÁö¿¬ µ¿ÀÛÀ» À§ÇÑ ¸ðºô¸®Æ¼¿ë AI ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß 23. ¼öµ¿ ±¤Åë½Å¸Á(PON: Passive Optical Network)¿ë MAC SoC °³¹ß 24. ÃʼÒÇü/°íÈ­Áú 3D ³»½Ã°æ¿ë CMOS ¿µ»ó¼¾¼­ 25. µðÁöÅÐ Ä¡°ú ÀÀ¿ë °æ·® ÀΰøÁö´É SoC ±â¹Ý Áö´ÉÇü ½ºÄ³³Ê Ç÷§Æû 26. 10 nm±Þ ÀÌÇÏ Deep Trench Silicon¿ë °í»ý»ê¼º ¹× Àú¼Õ»ó ¿øÀÚÃþ ½Ä°¢Àåºñ 27. 5nmÀÌÇÏ Logic ¹× 3D DRAM¿ë SiGe °í¼±Åúñ ½Ä°¢Àåºñ 28. Â÷¼¼´ë ÀúÀå ¼Ö·ç¼Ç¿ë 2%ÀÌÇÏ °í±ÕÀϵµ, ¹«¼Õ»ó, ½Å¹°Áú °í¼Ó Etch Àåºñ 29. Â÷¼¼´ë ÆÐÅÍ´×¿ë ½Ç¸®ÄÜ ¹× ±Ý¼ÓÈ­ÇÕ¹°°è ¼ÒÀç ÁõÂøÀ» À§ÇÑ °í¹Ðµµ ÇöóÁ ALD Àåºñ °³¹ß 30. 3D ¸Þ¸ð¸® ³ª³ëÆÐÅÏ ¹× ±¹¼Ò¼ººÐºÐÆ÷ ÃøÁ¤¿ë Raman-Ellipsometry À¶ÇÕÃøÁ¤Àåºñ±â¼ú 31. °í½Å·Ú¼º multi-level cell ±¸Çö °¡´ÉÇÑ Self-rectifying FTJ ¾î·¹ÀÌ ¼ÒÀÚ °³¹ß 32. ÀÓ°è Àü¾Ð Á¶Àý °¡´ÉÇÑ 2´ÜÀÚ ¼±ÅüÒÀÚ ±â¹Ý ¼öÁ÷Çü °í¹Ðµµ ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ °øÁ¤ °³¹ß 33. PIMÇâ Å©·Î½ºÆ÷ÀÎÆ® SOM Àû¿ëÀ» À§ÇÑ °í ¼±Åúñ, °í ½Å·Ú¼º ¼±Åà ¼ÒÀÚ°³¹ß 34. Vector Matrix Multiplication(VMM) ¼öÇàÀ» À§ÇÑ °­À¯Àüü ±â¹Ý °íÁýÀû 3D ½Ã³À½º ¾î·¹ÀÌ ÁýÀû°øÁ¤±â¼ú°³¹ß 35. 3D NAND ¸Þ¸ð¸® Cell °í ½Å·Ú¼º ±â¼ú ¹× ¼ÒÀÚ-ȸ·Î ÅëÇÕ Å×½ºÆ®º£µå Ç÷§Æû °³¹ß 36. Charge trap ³»Àç ÀúÂ÷¿ø ¹ÝµµÃ¼ ÃÊ°í¼Ó Àú¿Â ÇÕ¼º ¹× ÇöóÁ °áÇÔÁ¦¾î ±â¼ú ±â¹Ý ÀúÀü·Â ½Ã³À½º ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ °³¹ß 37. ÃÊ°Å´ë ¾ð¾î¸ðµ¨À» À§ÇÑ ¾çÀÚÈ­ ±â¼ú ¹× ½ºÄÉÁÙ¸µ ±â¹ýÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Transformer °¡¼Ó ¼Ö·ç¼Ç °³¹ß 38. ¾×Ƽºê ¼¿ ¹ë·±½ÌÀÌ °¡´ÉÇÏ°í ¹«¼± Á¦¾î¸¦ Áö¿øÇÏ´Â Àü±âÀÚµ¿Â÷¿ë ¹èÅ͸® °ü¸® ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è ±â¼ú °³¹ß 39. LLM °¡¼ÓÀ» À§ÇÑ CXL ±â¹Ý PNM ¾ÆÅ°ÅØó ¹× ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç Ç÷§Æû °³¹ß 40. Ion Beam Etching °øÁ¤¿ë ¸®º»Çü À̿ºöÀÇ ºö¿¡³ÊÁö ¹× ÀԻ簢 Á¦¾î±â¹ý °³¹ß 41. °í¹æ¿­ ±Ý¼Ó-ºØÈ­ºñ¼Ò º¹ÇÕ ¼ÒÀç ¹× °øÁ¤ °³¹ß 42. Àú¿Â ÇÏÀ̺긮µå º»µù¿ë metastable ±Ý¼Ó ÀüÇصµ±Ý ¼ÒÀç/Á¢ÇÕ Æ¯¼º ¹× ¼³°è ±â¼ú ¿¬±¸ 43. EMI Â÷Æó ¹× ¹æ¿­Æ¯¼º Çâ»óÀ» À§ÇÑ ÆÐÅ°Áö¿ë º¹ÇÕ Filler À¯Àü±â¼ú°³¹ß

ÀúÀÚ
»ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ
   ±¹³»¿Ü 5G Åë½Å/¼­ºñ½º/Àåºñ ½ÃÀå ºÐ¼®°ú ºñÁî´Ï½º Àü·«(»ó) | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
   ±¹³»¿Ü 5G Åë½Å/¼­ºñ½º/Àåºñ ½ÃÀå ºÐ¼®°ú ºñÁî´Ï½º Àü·«(ÇÏ) | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
   ±¹³»¿Ü ±â°è»ê¾÷ ½ÃÀå ºÐ¼®°ú ºñÁî´Ï½º Àü·«(»ó) | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
   ±¹³»¿Ü ºÐ¾ßº° 2Â÷ÀüÁö »ê¾÷ ¹× ¼ÒÀç »ê¾÷ ½ÃÀåºÐ¼®°ú ºñÁî´Ï½º Àü·« | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
   2021³â ±¹³»¿Ü (ºò)µ¥ÀÌÅÍ ½ÃÀåºÐ¼®°ú ÇØ¿ÜÁøÃâ Àü·«(»ó) | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
   ±¹³»¿Ü ¿¬·áÀüÁö ¹× ¼ö¼ÒÀÚµ¿Â÷ ½ÃÀå ºÐ¼®°ú ºñÁî´Ï½º Àü·« | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡

ÀÌ ÃâÆÇ»çÀÇ °ü·Ã»óÇ°
2024 ±¹³»¿Ü ÀΰøÁö´É(AI)¤ýºòµ¥ÀÌÅÍ ¹× °ü·Ã ÇÙ½É »ê¾÷ ½ÃÀåÃѶ÷°ú ±â¼ú°³¹ß Àü·«(»ó) | ½Å¼ºÀ嵿·Â»ê¾÷Á¤º¸±â¼ú¿¬±¸È¸ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
2024 ±¹³»¿Ü ÀΰøÁö´É(AI)¤ýºòµ¥ÀÌÅÍ ¹× °ü·Ã ÇÙ½É »ê¾÷ ½ÃÀåÃѶ÷°ú ±â¼ú°³¹ß Àü·«(ÇÏ) | ½Å¼ºÀ嵿·Â»ê¾÷Á¤º¸±â¼ú¿¬±¸È¸ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
2024 ±¹³»¿Ü ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¹× ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÃѶ÷°ú ºñÁî´Ï½º Àü·«(»ó) | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡ ÆíÁýºÎ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
±¹³»¿Ü 2Â÷ÀüÁö/Â÷¼¼´ëÀüÁö ½ÃÀåÃѶ÷°ú ºñÁî´Ï½º Àü·«(ÇÏ) | ½Å¼ºÀ嵿·Â»ê¾÷Á¤º¸±â¼ú¿¬±¸È¸ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡
±¹³»¿Ü 2Â÷ÀüÁö/Â÷¼¼´ëÀüÁö ½ÃÀåÃѶ÷°ú ºñÁî´Ï½º Àü·«(»ó) | ½Å¼ºÀ嵿·Â»ê¾÷Á¤º¸±â¼ú¿¬±¸È¸ | »ê¾÷°æÁ¦¸®¼­Ä¡

ÀÌ ºÐ¾ß ½Å°£ °ü·Ã»óÇ°
Ãø·®¾÷¡¤Åä¸ñ¼³°è»ç¹«¼Ò ÁÖ¼Ò·Ï(2024) | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î ÆíÁýºÎ | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î
Ãà»ê¾÷ ÁÖ¼Ò·Ï(2024)(CD) | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î ÆíÁýºÎ | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î
¸ñÀ硤¹ú¸ñ¾÷ü ÁÖ¼Ò·Ï(2024)(CD) | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î
2024 ¿£ÅÍÅ×ÀθÕÆ® ÁÖ¼Ò·Ï | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î ÆíÁýºÎ | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î
2024 ¼öµµ ¹× °¡½º¾÷ü ÁÖ¼Ò·Ï | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î ÆíÁýºÎ | Çѱ¹ÄÜÅÙÃ÷¹Ìµð¾î
 
µµ¼­¸¦ ±¸ÀÔÇϽŠ°í°´ ¿©·¯ºÐµéÀÇ ¼­ÆòÀÔ´Ï´Ù.
ÀÚÀ¯·Î¿î ÀÇ°ß ±³È¯ÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù¸¸, ¼­ÆòÀÇ ¼º°Ý¿¡ ¸ÂÁö ¾Ê´Â ±ÛÀº »èÁ¦µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

µî·ÏµÈ ¼­ÆòÁß ºÐ¾ß¿Í »ó°ü¾øÀÌ ¸ÅÁÖ ¸ñ¿äÀÏ 5ÆíÀÇ ¿ì¼öÀÛÀ» ¼±Á¤ÇÏ¿©, S-Money 3¸¸¿øÀ» Àû¸³Çص帳´Ï´Ù.
ÃÑ 0°³ÀÇ ¼­ÆòÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.