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 목차 |
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| 001. 반도체 물리 I
002. 반도체 물리 II
003. 웨이퍼 제조 I
004. 웨이퍼 제조 II
005. 에피택샬 증착 I
006. 에피택샬 증착 II
007. 산화 I
008. 산화 II
009. 불순물 주입 및 재분포I
010. 불순물 주입 및 재분포 II
011. 포토 마스킹
012. 화학증착
013. 금속막 증착
014. 소자공정
015. 소자
016. 오염방지
017. 최근의 실리콘 기술
018. 非 실리콘 기술
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저자
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PETER E.GISE
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역자
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최세기
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