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 목차 |
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| 1장 서론
2장 기체의 특성
3장 가스입자간의 충돌현상
4장 플라즈마의 기초
5장 직류 플라즈마
6장 고주파 플라즈마
7장 고밀도 플라즈마
8장 플라즈마식각의 원리 및 공정인자의 영향
9장 다양한 물질의 식각
10장 플라즈마 진단기술 |
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저자
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염근영
[저]
플라즈마 식각기술
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염근영
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