|
|
|
|
|
|
|
Ã¥³»¿ë |
|
ÀÌ Ã¥Àº ¾ÕÀ¸·Î Å« Àü°³°¡ ¿¹»óµÇ´Â °íºÐÀÚ ³ª³ëÅ×Å©³î·¯Áö Áß¿¡¼ ±¸Ã¼¼ºÀÌ ³ôÀº °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á¿¡ ´ëÇØ ´Ù·ç°í ÀÖ´Ù. ³ª³ëÀç·áÀÇ °³³ä¿¡¼ºÎÅÍ ³ª³ëÀç·áÀÇ ±¸Á¶¿Í ¹°¼º, ³ª³ëÀç·á¸¦ ¸¸µå´Â ¹ý, °íºÐÀÚ ³ª³ë ÆÄÀ̹ö¡¤³ª³ë ¹Ú¸·, ³ª³ëÀç·á ijÀÍÅ͸®Á¦À̼ǿ¡ ´ëÇØ ±âÃÊ¿¡¼ºÎÅÍ ÃÖ±ÙÀÇ »óȲ±îÁö¸¦ ±â¼úÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ƯÈ÷ ±âÃÊ ÀÀ¿ë¸é¿¡¼ Èï¹Ì¸¦ ÀھƳ»´Â Æú¸®¸Ó ³ª³ë ¾Ë·ÎÀÌ, Æú¸®¸Ó ³ª³ë ÄÞÆÛÁþ¿¡ ¿ªÁ¡À» µÎ¾î ¼³¸íÇÏ¿´´Ù. |
|
¸ñÂ÷ |
|
CHAPTER 01 °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·áÀÇ °³³ä
1.1 °íºÐÀÚ¿Í ³ª³ëÅ×Å©³î·¯Áö
1.2 °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á
1.3 ³ª³ë ¼ÒÀç
1.4 Æú¸®¸Ó ³ª³ë ¾Ë·ÎÀÌ
1.5 Æú¸®¸Ó ³ª³ë ÄÞÆÛÁþ Àç·á
1.6 ±âŸ °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á
¤ýÄ÷³ : ºûÀÇ ÇÑ°Ô¸¦ ÃÊ¿ùÇÏ´Â ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ
CHAPTER 02 °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·áÀÇ ±¸Á¶¿Í ¹°¼º
2.1 ¸Ó¸®¸»
2.2 »ó¿ë¤ý»óºÐ¸® ÀÌ·Ð
(1) Çø®¸Ó ºí·£µå°èÀÇ »óµµ
(2) Çø®¸Ó ¾Ë·ÎÀÌÀÇ Åë°è ¿¿ªÇÐ
(3) »óºÐ¸® ´ÙÀ̳»¹Í½º
(4) ¸¶ÀÌÅ©·Î »óºÐ¸®
¤ýÄ®·³ : ¿øÀÚ°£ Èû Çö¹Ì°æ(AFM)ÀÇ À§·Â
2.3 °è¸éÀÇÀÌ·Ð
(1) Æú¸®¸Ó ³ª³ë ¾Ë·ÎÀÌÀÇ °è¸é
(2) °Ô¸éÀ» ÅëÇÑ È®»ê, ºÐ¹è, ¹ÝÀÀ
(3) ÄÞÆÛÁþÀÇ °è¸é
¤ýÄ®·³ : Åõ°úÇü ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ(TEM)ÀÇ ¿ø¸®
(4) °è»ê±â ½Ã¹Ä·¹À̼Ç
2.4 °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·áÀÇ »ç·Ê
(1) ¿°¡¼Ò¼º ¿¤¶ó½ºÅä¸Ó
(2) ¸¶ÀÌÅ©·Î »óºÐ¸® ±¸Á¶ÀÇ ³ª³ë ÅÛÇ÷¹ÀÌÆ®¿¡ ÀÀ¿ë
(3) Ä«º» ³ª³ëÆ©ºê(CNT)/¿¤¶ó½ºÅä¸Ó º¹ÇÕÀç
(4) Æú¸®¸Ó Å©·¹ÀÌ ³ª³ë ÄÄÆÛÁþ
(5) ȯµ¿ °Ö
CHAPTER 03 °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á¸¦ ¸¸µå´Â ¹ý
3.1 ±âº»ÀûÀÎ ¾ÆÀ̵ð¾î
3.2 ºí·Ï, ±×·¡ÇÁÆ® °øÁßÇÕ
3.3 in situ¹ý, Á¹°Ö¹ý ³ª³ë ÄÞÆÛÁþ
¤ýÄ®·³ : ÁÖ»çÇü ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ(SEM)ÀÇ ±¸Á¶
3.4 ÃʺÐÀÚ¹ý
3.5 »óÀüÀÌ(ßÓï®ì¹)¿¡ ÀÇÇÑ ¹æ¹ý
3.6 ¸®¾×Ƽºê ÇÁ·Î¼¼½Ì
3.7 ¸Î´Â¸»
CHAPTER 04 °íºÐÀÚ ³ª³ë ÆÄÀ̹ö¤ý³ª³ë ¹Ú¸·
4.1 °íºÐÀÚ ³ª³ë ÆÄÀ̹ö
¤ýÄ®·³ : ÁÖ»çÇü ÇÁ·Îºê Çö¹Ì°æ(SPM)
4.2 °íºÐÀÚ ³ª³ë ¹Ú¸·
CHAPTER 05 °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·áÀÇ Ä³¸¯Å͸®Á¦À̼Ç
5.1 ¸Ó¸®¸»
5.2 ¿ø¼Ò ½Äº°Çü 3Â÷¿ø ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ
¤ýÄ®·³ : ÁÖ»çÇü ÅͳΠÇö¹Ì°æ(STM)ÀÇ ¿ø¸®
5.3 ¿øÀÚ°£ Èû Çö¹Ì°æ
(1) ¿øÀÚ°£ Èû Çö¹Ì°æ¿¡ ´ëÇÏ¿©
(2) ¹°¼ºÀ» Æò°¡ÇÏ´Â µµ±¸·Î¼ÀÇ AFM
(3) ÅÂÇÎ ¸ðµå(tapping mode) AFM¿¡ ´ëÇÏ¿©
¤ýÄ®·³ : ÁÖ»çÇü ±ÙÁ¢Àå ±¤ÇÐ Çö¹Ì°æ(SNOM)
5.4 ³ª³ë ½ºÆåÆ®·Î½ºÄÚÇÇ
ã¾Æº¸±â |
|
º»¹®Áß¿¡¼ |
|
¸Ó¸®¸»
¶óÀÌÇÁ »çÀ̾ð½º, Á¤º¸Åë½Å, ȯ°æ, ³ª³ëÅ×Å©³î·¯Áö, Àç·á µîÀ» ±ÝÈÄÀÇ °úÇбâ¼ú ºÐ¾ßÀÇ ÁßÁ¡ Àü·«À¸·Î Ã¥Á¤ÇÔÀ¸·Î½á ³ª³ëÅ×Å©³î·¯Áöµµ ±âÁ¸ÀÇ °Å´ë ºÐ¾ß¿Í µ¿°ÝÀ¸·Î ´Ù·ç´Â ³ª¶óµéÀÌ ¸¹´Ù. ƯÈ÷ Àç·á ³ª³ëÅ×Å©³î·¯Áö¿Í ³ª³ë ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º, ¹ÙÀÌ¿À ³ª³ëÅ×Å©³î·¯Áö´Â °³¹ß¿¡ ¿Á¤À» ½ñ°í ÀÖ´Â ¿¬±¸¿øµé »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó »ê¾÷ »çȸ Àü¹ÝÀÇ Å« °ü½É»ç°¡ µÇ°í ÀÖ´Ù.
³ª³ëÀÇ Áø¿øÀº 2000³â 1¿ù ´ç½ÃÀÇ ¹Ì±¹ Ŭ¸°ÅÏ ´ëÅë·ÉÀÌ Ä¶¸®Æ÷´Ï¾Æ °ø°ú´ëÇп¡¼ ÇàÇÑ National Nano-technology Initiative(NNI)¿¡¼ ºñ·ÔµÇ¾ú´Ù. NNI¿¡¼´Â ¿¬±¸ ¸ñÇ¥ ´Þ¼º¿¡´Â »ç¾È¿¡ µû¶ó 20³â ÀÌ»ó ¼Ò¿äµÉÁö ¸ð¸£Áö¸¸ ±×·¯Çϱ⠶§¹®¿¡ ¿¬¹æÁ¤ºÎÀÇ ¿ªÇÒÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù°í °Á¶Çß´Ù.
ÀÌ Ã¥¿¡¼´Â ¾ÕÀ¸·Î Å« Àü°³°¡ ¿¹»óµÇ´Â °íºÐÀÚ ³ª³ëÅ×Å©³î·¯Áö Áß¿¡¼ ±¸Ã¼¼ºÀÌ ³ôÀº °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á¸¦ ´Ù·ç¾ú´Ù. ÀÌ ºÐ¾ßµµ ¿Ï¼ºµÈ °ÍÀº ¾Æ´Ï°í, ÇöÀçµµ °ý¸ñÇÒ¸¸ÇÑ ¼ºÀåÀ» À̾°í ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ ¿©±â¼´Â ÀÌ¿Í °°Àº »çÁ¤À» °í·ÁÇÏ¿© ¿ì¼± ÃÖÃÊ¿¡ °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á¶õ ¹«¾ùÀΰ¡¸¦ Çؼ³Çß´Ù. ±×¸®°í Á¦2Àå¿¡ °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·áÀÇ ±¸Á¶¿Í ¹°¼º, Á¦3Àå¿¡ °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á¸¦ ¸¸µå´Â ¹ý, Á¦4Àå¿¡ °íºÐÀÚ ³ª³ë ÆÄÀ̹ö¡¤³ª³ë ¹Ú¸·, Á¦5Àå¿¡ °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·áÀÇ Ä³¸¯Å͸®Á¦À̼Ç(characteri- zation)¿¡ ´ëÇÏ¿© ±âÃÊ¿¡¼ºÎÅÍ ÃÖ±ÙÀÇ »óȲ±îÁö¸¦ ±â¼úÇÏ¿´´Ù.
ƯÈ÷ ±âÃÊ/ÀÀ¿ë¸é¿¡¼ Èï¹Ì¸¦ ÀھƳ»´Â Æú¸®¸Ó ³ª³ë ¾Ë·ÎÀÌ, Æú¸®¸Ó ³ª³ëÄÞÆÛÁþ¿¡ ¿ªÁ¡À» µÎ¾ú´Ù.
°íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á´Â ¹ßÀüÀÌ ¸Å¿ì ºü¸¥ ºÐ¾ßÀÌ´Ù. º»¼´Â ÀÔ¹®, ±âº» µµ¼¿¡ Áö³ªÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î ´õ °ü½ÉÀÌ ÀÖ´Â µ¶ÀÚµéÀº Àü¹®µµ¼, ÃÖ±ÙÀÇ ¹®Çå, ƯÇã µîÀ» È°¿ëÇϱ⠹ٶõ´Ù.
¿ªÀÚ |
|
|
|
|
|
|
|
Ãâ°í¾È³» |
|
 |
Ãâ°í¶õ ÀÎÅÍÆÄÅ© ¹°·ùâ°í¿¡¼ µµ¼°¡ Æ÷ÀåµÇ¾î ³ª°¡´Â ½ÃÁ¡À» ¸»Çϸç, ½ÇÁ¦ °í°´´Ô²²¼ ¼ö·ÉÇϽô ½Ã°£Àº »óÇ°Áغñ¿Ï·áÇØ Ãâ°íÇÑ ³¯Â¥ + Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÔ´Ï´Ù. |
 |
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼´Â ¸ðµç »óÇ°ÀÇ Àç°í°¡ ÃæÁ·ÇÒ ½Ã¿¡ ÀÏ°ý Ãâ°í¸¦ ÇÕ´Ï´Ù. |
 |
ÀϺΠÀç°í¿¡ ´ëÇÑ Ãâ°í°¡ ÇÊ¿äÇÒ ½Ã¿¡´Â ´ã´çÀÚ¿¡°Ô Á÷Á¢ ¿¬¶ôÇϽðųª, °í°´¼¾ÅÍ(°í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ôÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
¹è¼Ûºñ ¾È³» |
|
 |
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼ ´ë·®±¸¸Å´Â ¹è¼Û·á°¡ ¹«·áÀÔ´Ï´Ù. |
 |
´Ü, 1°³ÀÇ »óÇ°À» ´Ù¼öÀÇ ¹è¼ÛÁö·Î ÀÏ°ý ¹ß¼Û½Ã¿¡´Â 1°³ÀÇ ¹è¼ÛÁö´ç 2,000¿øÀÇ ¹è¼Ûºñ°¡ ºÎ°úµË´Ï´Ù. |
¾Ë¾ÆµÎ¼¼¿ä! |
|
 |
°í°´´Ô²²¼ ÁÖ¹®ÇϽŠµµ¼¶óµµ µµ¸Å»ó ¹× ÃâÆÇ»ç »çÁ¤¿¡ µû¶ó Ç°Àý/ÀýÆÇ µîÀÇ »çÀ¯·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
 |
Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÎ ¼¿ï ¹× ¼öµµ±ÇÀº 1~2ÀÏ, Áö¹æÀº 2~3ÀÏ, µµ¼, »ê°£, ±ººÎ´ë´Â 3ÀÏ ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù.
(´Ü, Åä/ÀÏ¿äÀÏ Á¦¿Ü) |
|
|
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼´Â °í°´´ÔÀÇ ´Ü¼ø º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯°ú ¹ÝÇ°¿¡ µå´Â ºñ¿ëÀº °í°´´ÔÀÌ ÁöºÒÄÉ µË´Ï´Ù.
´Ü, »óÇ°À̳ª ¼ºñ½º ÀÚüÀÇ ÇÏÀÚ·Î ÀÎÇÑ ±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°Àº ¹«·á·Î ¹ÝÇ° µË´Ï´Ù.
±³È¯/¹ÝÇ°/º¸ÁõÁ¶°Ç ¹× Ç°Áúº¸Áõ ±âÁØÀº ¼ÒºñÀڱ⺻¹ý¿¡ µû¸¥ ¼ÒºñÀÚ ºÐÀï ÇØ°á ±âÁØ¿¡ µû¶ó ÇÇÇظ¦ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Á¤È®ÇÑ È¯ºÒ ¹æ¹ý ¹× ȯºÒÀÌ Áö¿¬µÉ °æ¿ì 1:1¹®ÀÇ °Ô½ÃÆÇ ¶Ç´Â °í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ô Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
¼ÒºñÀÚ ÇÇÇغ¸»óÀÇ ºÐÀïó¸® µî¿¡ °üÇÑ »çÇ×Àº ¼ÒºñÀÚºÐÀïÇØ°á±âÁØ(°øÁ¤°Å·¡À§¿øȸ °í½Ã)¿¡ µû¶ó ºñÇØ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ °¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
 |
»óÇ°À» °ø±Þ ¹ÞÀ¸½Å ³¯·ÎºÎÅÍ 7ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
 |
°ø±Þ¹ÞÀ¸½Å »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀÌ Ç¥½Ã, ±¤°í ³»¿ë°ú ´Ù¸£°Å³ª ´Ù¸£°Ô ÀÌÇàµÈ °æ¿ì¿¡´Â °ø±Þ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 3°³¿ùÀ̳», ±×»ç½ÇÀ» ¾Ë°Ô µÈ ³¯ ¶Ç´Â ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´ø ³¯·ÎºÎÅÍ 30ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
 |
»óÇ°¿¡ ¾Æ¹«·± ÇÏÀÚ°¡ ¾ø´Â °æ¿ì ¼ÒºñÀÚÀÇ °í°´º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯Àº »óÇ°ÀÇ Æ÷Àå»óÅ µîÀÌ ÀüÇô ¼Õ»óµÇÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
|
|
|
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
 |
°í°´´ÔÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¸ê½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. (´Ü, »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀ» È®ÀÎÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå µîÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì´Â Á¦¿Ü) |
 |
½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÒ Á¤µµ·Î ¹°Ç°ÀÇ °¡Ä¡°¡ ¶³¾îÁø °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
 |
Æ÷Àå °³ºÀµÇ¾î »óÇ° °¡Ä¡°¡ ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ¹ÝÇ° ȯºÒ |
|
|
 |
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ´Ù¸¥ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°À» µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. |
 |
1°³ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°ÀÌ ¿Ï·áµÈ ÈÄ ´Ù¸¥ Áö¿ª ¹ÝÇ°À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌÁ¡ ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|